二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299011 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款先進的蝕刻/asher設備，旨在為各種應用提供高質量的蝕刻解決方案。它具有最先進的氣體/液體輸送系統，專門設計用於使用各種化學品和氣體。該裝置可配置為在不同的壓力和溫度下提供精確控制的液體或氣體流動。GASONICS L 3510可以處理直徑達200毫米的半導體晶片。它包括一個晶片盒式磁帶和多個傳輸模塊，用於將晶片從內部移動到加工室外部。該機使用了Ponderomotor-Controlled等離子體源，以高選擇性蝕刻無缺陷材料。這個等離子體源可以調諧到幾個不同的頻率，以蝕刻不同類型的材料。該工具還配備了其他幾項先進功能，如高功率射頻發生器、多個獨立區域溫度控制、實時晶圓平坦度測量、高級矢量離子源和集成等離子體源。它還配備了一個功能強大的軟件包，使用戶可以在蝕刻過程中輕松監控和修改諸如電源、溫度、氣體和化學品等參數。為確保卓越的蝕刻性能,該資產具有多種安全功能,如緊急打開/關閉功能、超壓和碰撞保護、可變壓力安全閥和緊急氣體關閉。NOVELLUS L 3510可以快速且精確的蝕刻各種材料，包括介電、金屬和聚合物。其高精度蝕刻能力可以幫助半導體器件的性能最大化，提高產量。它是用於高容量、高精度操作的可靠、精密的蝕刻解決方案。