二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299012 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款等離子體蝕刻器，旨在精確高效地蝕刻金屬、金屬合金、SiO2、TiO2、SiN等材料。由於其開放的體系結構，它具有高度可靠的射頻設計和先進的過程控制算法。這使它能夠啟用需要高度精確度和靈活性的流程。GASONICS L 3510提供最先進的蝕刻工藝控制和計量能力。NOVELLUS L 3510使用高頻和低頻無線電頻率跟隨有圖樣的晶圓精確地創建或修改其表面。它還配備了先進的差分遷移率分析儀，用於測量蝕刻過程中蝕刻離子的電子能量分布，調整等離子體以獲得所需的結果。這有助於確保等離子體不會蝕刻晶片太深或太薄，從而可能損壞或降解被蝕刻的設備或基板。L 3510配備了能夠在原位模式和異位模式下運行的腔室。現場加工通常用於制造高度精確的零件，在加工過程中可以使用加工室對設備進行改裝。在非原生境過程中，腔室一旦從腔室中取出，即用於對裝置或基板進行處理和塗層。這提供了更快和更準確的過程，減少了汙染的機會。GASONICS/NOVELLUS L 3510利用計算機控制的軟件界面實現對工藝參數和設備設置的完全控制。它還采用模塊化設計,用戶可以輕松添加功能並進行升級。這使得GASONICS L 3510是一個用途非常廣泛的蝕刻系統，能夠處理各種蝕刻和清潔工作。NOVELLUS L 3510還配備了多項安全功能,可確保設備安全運行。這包括內置的超壓保護機器，在壓力突然增加的情況下關閉電源。此外，該工具還配備了警報資產，可以檢測特定的過程問題並自動進行修正。L 3510是高效可靠的蝕刻模型,旨在幫助您獲得可靠和高質量的結果。憑借其先進的功能和廣闊的功能，這款設備一定能為用戶提供可靠準確的蝕刻工藝。