二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299013 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款高級蝕刻器/asher,能夠在各種材料上高速執行復雜的陣列處理。這臺400 mHz的設備專為多處理、多層次的圖樣應用而設計，包括半導體、光電子、化學機械拋光和生物醫學等行業的應用。GASONICS L 3510采用先進、最先進的蝕刻/灰化技術設計和制造,確保結果的準確性和可重復性。該系統配備了廣泛的高級參數優化能力，允許精確控制參數和分辨率。該裝置還得益於板載高分辨率成像機，以確保精確的圖樣和一致的結果。NOVELLUS L 3510包括四個晶圓載波和接口程序，精確控制晶圓定向和管理。該工具配備了一個軟件控制的卡帶提升資產，用於裝載和卸載基板。L 3510具有自動快門模型,用於精確控制蝕刻和灰化處理參數。此外，該設備還包括一個帶有旋轉轉盤的獨立晶片裝載室，能夠清潔應用和去除不暴露於外部環境的蝕刻和灰化介質。GASONICS/NOVELLUS L 3510還提供了多種其他選項,包括高級圖形用戶界面（GUI）、實時監控功能、緊密耦合的船和溫度控制室。總體而言,GASONICS L 3510是一款功能強大的蝕刻器/Asher,其一系列先進的技術使其成為需要復雜、高精度制圖工藝的行業的寶貴選擇。它旨在為用戶提供非常準確、可重復的結果,而這只是傳統蝕刻和灰化工具所需時間的一小部分。