二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299014 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款用於半導體制造工藝的先進蝕刻器/asher。它專為需要重復電容耦合等離子體（CCP）蝕刻循環的高通量應用而設計。GASONICS L 3510配備了高性能的腔室設計和兩級氣體輸送，使其能夠提供更高的吞吐量。NOVELLUS L 3510蝕刻室由低溫兼容、與加工過程中產生的高溫等離子體惰性的材料構成。這種材料組合確保了最高的蝕刻均勻性,從而提高了設備性能。此外，大容量的上部靜電卡盤和大循環波紋管允許有效的等離子體處理。兩級氣體輸送系統由兩個獨立的輸送管組成，允許蝕刻器在等離子體處理過程中將不同的氣體輸送到腔室的不同區域。這樣可以更精確地控制過程,從而提高蝕刻一致性。L 3510提供高級自動化選項,具有多種可編程功能,包括多平面蝕刻加工、多氣體排放以及兩個腔室中每一個的獨立排水循環。它還具有一個大型觸摸屏監視器,可提供有關流程的實時信息,以及一個遠程控制界面,使技術人員能夠從遠程工作站調整流程參數。為了增加安全性，GASONICS/NOVELLUS L 3510有一個集成的等離子體檢測系統，可以檢測過程何時超出規格，並將立即關閉系統。此功能可確保過程安全,並且不會對晶圓或設備造成損壞。總體而言,GASONICS L 3510是一款先進的蝕刻器/asher,可精確控制蝕刻過程,從而提高吞吐量並提高設備性能。它非常適合高蝕刻均勻性至關重要的應用程序,並提供具有可編程功能的增強自動化。