二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299015 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款高度先進的蝕刻/asher設備，專為滿足半導體行業苛刻的生產需求而設計。該系統采用Q-200高速Q開關,可提供高達200納米/秒的卓越均勻性和高沈積速率。該設備還具有高達75毫巴的氣體運行壓力,可通過更快的工藝周期實現高效吞吐量。此外,由於其X-Y掃描安裝,該機器能夠同時暴露大面積,最高可達22瓦/平方厘米。GASONICS L 3510通過其廣受贊譽的開環感應和Match™控制提供了過程穩定性,它允許在蝕刻過程中實時調整關鍵參數。這使用戶能夠微調蝕刻過程,以確保配方針對最佳的最終產品進行優化。該工具還具有智能自動化功能,可最大程度地減少操作員參與重復的手動過程。NOVELLUS L 3510也是為安全而設計的，擁有M級屏蔽，最小的汙染風險和降噪。另一個安全特性是潛望鏡視圖，可以觀察腔室內部。該資產還配備了GASONICS專有µV™模型，可實時測量和監控等離子體電位。這使得等離子體設備可以安全地免受過大電壓堆積在工藝室內引起的潛在短路的影響。為確保最佳性能和最大吞吐量,L 3510配備了創新的P-Ingregated搖籃,可實現更精細的基板對準和降低基板上的熱梯度。這是蝕刻高長寬比特征時的一個重要特征,這些特征可能會因熱量累積而損壞。該系統還具有跨X軸和Y軸的均勻屏蔽,以及等溫隔離的RF/DC組件。GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款先進且功能強大的蝕刻器/asher單元，設計時考慮了半導體行業的需求。它為用戶提供了高度的過程控制、優異的性能和前所未有的安全性。它是從高長寬比蝕刻到特殊基材和工藝等各種工藝的理想機器。