二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9308469 待售
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ID: 9308469
優質的: 1995
Asher
Spare parts and µ-wave RF-generator included
Control screen (Shows ribbons) and robot PCB non-functional
1995 vintage.
GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款高速蝕刻器和asher，用於半導體行業內廣泛的晶圓加工應用。該設備采用大氣壓化學氣相沈積（APCVD）和順序板旋轉蝕刻（SPRE）等先進技術高速處理晶片。GASONICS L 3510具有廣泛的功能，包括將氧化物、氮化物和多晶矽塗層沈積到矽晶片上，蝕刻復雜的圖樣和結構，從晶片表面去除不需要的材料。NOVELLUS L 3510提供高速性能和可靠的操作。該系統的工作速度高達每小時50個晶圓，能夠控制多達六個獨立的腔室。它還可以處理各種直徑（8「至12」）的晶片。該機具有自動凈化和加工液體管理能力，確保清潔的工作環境和一致的結果。該單元配備了堅固的機械臂和運動控制機，可以快速準確地校準蝕刻和灰化過程。L 3510采用了廣泛的先進工具和技術，如紫外線電子束光刻、測序氣體引入、等離子源技術等。該工具配備了先進的安全功能，如自動軟件保護，以確保安全的工作環境。此外，用戶可以實時監控工藝參數和生產，從而實現對工藝的最佳控制。GASONICS/NOVELLUS L 3510為半導體制造商提供了若幹好處。其先進的過程控制能力和高速性能可以提高周期時間和產量,從而提高生產率並提高產量。而且，GASONICS L 3510配備了先進的安全功能，保證了安全的工作環境。此外，該資產擁有成本低，設計可靠性高。總之，NOVELLUS L 3510是半導體行業最先進的蝕刻器和asher的理想選擇。高速可靠的模型提供了廣泛的功能和特點，能夠控制多達六個腔室。L 3510具有很高的可靠性和經濟效益,並提供了更好的周期時間和產量,使其成為半導體制造商的絕佳選擇。
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