二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9373158 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一種等離子蝕刻設備，用於在基板上制造精細的結構，用於制造集成電路和其他電子元件。它基於利用反應性氣體形成等離子體進行蝕刻或反應性離子蝕刻（RIE）的方法。該工藝用於在包括金屬、矽、石英和陶瓷在內的基板表面上創建結構。GASONICS L 3510的主要特點是由於其在控制蝕刻參數方面的靈活性，包括蝕刻速率、蝕刻深度、特征尺寸等，使得其蝕刻能力非常精細和精確。這樣可以實現高精度和高精度的蝕刻。NOVELLUS L 3510蝕刻深度精度小於1毫米，50毫米× 50毫米（2 「× 2」）磁場尺寸，蝕刻速率為1-10 nms。此外,該系統還具有逐步調整燃料優化程序,從而減少了蝕刻的時間和成本。L 3510還增加了安全特性，使其適合一系列工業應用，包括碳化矽等高性能材料和類似金剛石的塗層。其中包括一個熔爐封閉的射頻室，一個易於清潔的裸露內壁，以及一個捕獲危險顆粒的HEPA過濾器。由於其不銹鋼結構和遠程操作能力，該裝置非常適合工業環境。在操作參數方面，GASONICS/NOVELLUS L 3510具有高達700 °C的基質溫度能力，壓力範圍為1.1-10.0 mbars。機器還支持多種工藝氣體，包括氯氣、氟氣、氙氣、氮氣或這些氣體的組合。它還設有一個氣體控制基座，使人們能夠方便地使用氣體分配工具，並實現精確的氣體控制。最後，GASONICS L 3510配備了直觀的觸摸屏界面，允許用戶監控和控制蝕刻過程。資產還包括提供詳細蝕刻報告和過程記錄的數據記錄器。總體而言，NOVELLUS L 3510是一款高效、準確、用戶友好的蝕刻器，適合多種工業應用。