二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9374853 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款先進的用於半導體器件制造的蝕刻/灰分設備。與其他蝕刻/灰燼系統相比，它具有較高的吞吐量、較高的沈積均勻性和較高的模式保真度。憑借高通量,系統可以支持生產級吞吐量,同時提供高達6英寸晶圓的靈活性和可擴展性。該過程在前體模塊中開始,該模塊設計用於在蝕刻或灰化步驟之前對設備進行預處理。該模塊容納了包括氯氣、氮氣和氟氣在內的各種化學前體的大的單一劑量源。這種前體的組合導致了更密集的層沈積，改進了模式，減少了加工時間。在Etch/Ash模塊中,晶片被放入一個包含蝕刻/灰燼源的加工室,並暴露於化學物質的組合中。一系列背對背脈沖步驟確保了均勻沈積和蝕刻，而高速反應離子蝕刻過程則蝕刻了器件圖樣。等離子體源模塊利用高頻發電機創建等離子體，向所需的材料提供能量，以便進行蝕刻和灰化。與濕蝕刻/灰分系統相比，等離子體源還支持改進的介電覆蓋範圍、更高的長寬比和更快的處理時間。此外,GASONICS L 3510還配備了用於實時監控、趨勢顯示和日誌文件檢索的多功能日誌。這允許用戶監視所有進程參數,並允許設備在每次運行前完成對進程室的完整掃描。這樣可以確保一致性、準確性和可靠性。NOVELLUS L 3510是一款用途廣泛、功能強大的蝕刻/灰燼機，旨在為晶片提供長達6英寸的時間和經濟高效的處理。它兼具高通量和優越的模式保真度，是半導體器件制造的絕佳選擇。