二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9387796 待售
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GASONICS/NOVELLUS L 3510是最先進的Dry-Etching/Ashing工具。這一單元設計用於使用等離子體蝕刻和蝕刻氣體的組合來精確蝕刻和粉刷半導體基板。這種設備能夠在矽、III-V化合物或任何其他半導體材料等各種基板上產生非常精細的特性和細節。GASONICS L 3510的高級蝕刻和灰化功能有助於在基板表面上創建非常清晰和清晰的特征。該系統配備了許多強大的功能，旨在幫助最大限度地提高蝕刻和灰度精度和性能。NOVELLUS L 3510的主要爭論是氣體輸送單元，它允許精確控制蝕刻環境，調整蝕刻過程中氣體的壓力、溫度和成分，有助於最大限度地減少汙染並保持均勻性。此外，蝕刻和灰化過程中使用的氣體可以根據所加工基板的類型而改變，從而使蝕刻參數適合特定材料。L 3510還具有先進的等離子體源,有助於去除基板表面的任何汙染物,確保在蝕刻和灰化之前表面光滑平整。蝕刻和灰化過程是在真空環境下進行的，具有使用低壓氮氣（LPN）腔室幫助清除蝕刻腔室中任何有害殘留物或汙染物的可選能力。GASONICS/NOVELLUS L 3510也可用於進行快速熱處理（RTP）等高級熱處理，如果需要用於基板表面細化或去除汙染物。該套件高度自動化，使GASONICS L 3510的設置和操作得以快速高效地完成。它還支持大量可以編程的配方,從而提高了對蝕刻和灰化過程的控制程度。該機器易於使用，其生產級特性使其成為各種蝕刻和灰化工藝的經濟高效的工具。NOVELLUS L 3510還得到全球合格應用專家網絡的支持,有助於確保最佳蝕刻和灰化性能。
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