二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9392635 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款先進的蝕刻器/asher設備，將等離子體、化學和物理蝕刻工藝結合在單一集成工具中。這個先進的系統適用於廣泛的應用，從先進的互連到復合半導體器件。該蝕刻器/asher具有一個集成的機器人晶片處理單元，該單元具有四個獨立的腔室，每個腔室都有自己的氣體和過程控制。機器還提供了一個可選的多步驟過程，允許用戶在每個房間中定義最多八個食譜。此功能允許蝕刻器/asher在一個周期內處理多個基板,從而提高吞吐量和用戶靈活性。GASONICS L 3510利用熱蝕刻和化學蝕刻技術。熱蝕刻是使用反應性離子蝕刻器/等離子體蝕刻器完成的，它能夠產生高達100瓦的等離子體條件。該工具還具有可調烘烤工藝，以幫助優化基板表面制備。等離子體蝕刻器輔以化學蝕刻工具，利用多種化學物質去除材料。該資產旨在提供高分辨率的臨界尺寸控制,其光掩模成像精度低於0.5µm。這是通過將一個成像模型與一個以砷/氮化物/砷化物為基礎的沈積單元耦合而實現的。此外，設備還可以處理直徑不超過250毫米（8英寸晶圓）的基板，並具有內部真空法蘭，工藝壓力從1 mtor到100 mtor。NOVELLUS L 3510是一款多功能緊湊的系統，非常適合制造精細幾何形狀μ VLSI電路、光子和微波器件、互連和光學元件。這種組合蝕刻器/asher單元提供精密的表面處理和各種基板的蝕刻和粉刷，具有很高的通量和很高的可重復性。其卓越的可靠性和性能使L 3510成為高級蝕刻和灰化應用的理想工具。