二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9396061 待售

GatanGASONICS/NOVELLUS L 3510是一款為半導體制造而設計的最先進的蝕刻/asher設備。利用湯姆森散射和高能源，GASONICS L 3510能夠將光刻膠和其他材料精密蝕刻和灰化到亞微米級。該系統由離子源柱、離子光學柱、靜電透鏡、離子能量倍增器和離子能量傳感器組成。此外，一系列室內光學和工藝技術由一個專用的C控制P處理器控制。NOVELLUS L 3510上的高級分析單元具有高間距表面分析功能,能夠去除敏感材料並進行鈍化,從而支持高級光學材料的完整性。L 3510最顯著的特點之一是可調氣體噴射機，它允許選擇兩個級別的高能粒子--優化蝕刻和灰化，從而有效地對結果進行超細調諧。GASONICS/NOVELLUS L 3510接受多種晶片類型，如矽片、砷基晶片和石英晶片進行蝕刻和鈍化。包含在GASONICS L 3510上的分析套件還允許用戶實時監測測量總離子輸出、離子能量均勻性、離子束位置均勻性、腔室壓力等過程變量。使用可選的ConsuL Turbo EC多腔室工具,可以鏈接多個NOVELLUS L 3510 蝕刻器/asher系統,從而實現對多個晶片的自動化處理和分析。L 3510還擁有出色的數據處理能力和通信接口系統。內置圖形用戶界面（GUI）可啟用數據分析,例如深度配置文件。總體而言,GatanGASONICS/NOVELLUS L 3510是一款面向性能、可靠且經濟高效的蝕刻器,可用於現代半導體制造。