二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9400257 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一種蝕刻器/asher，可以用來將層從矽晶片轉移到薄膜基板上。該裝置設計用於高精度的窗口和表面輪廓成形，與多種蝕刻和沈積化學方法兼容。它是微量和納米級加工的絕佳選擇，可用於光伏電池制造、化學/氣體傳感、MEMS/NEMS技術等工藝。GASONICS L 3510配備了多種特性，使其成為蝕刻和灰化的理想選擇。它具有先進的光學窗口組件和集成的聚焦控制、可輕松配置以滿足應用需求的模塊化設計、雙光束柱體系結構以及堅固的高密度電源設備。該裝置還具有一系列環境控制參數，包括先進的氣體凈化和真空系統、溫度地理相關、冷卻劑處理等，以實現安全可靠的操作。此外,設備還配備了可實現高達50 nm精度的直接寫入系統,從而獲得極其精確的結果。性能方面，NOVELLUS L 3510設計為最大精度和彈性。它能夠在低至10e-6 Torr的真空水平下運行，沈積速率高達200 A/min，蝕刻速率高達20 mA/cm2。它具有一個直流電源單元,可在600V和5kW以下運行。此外，該裝置還配備了一系列診斷工具，包括敏感光束電流表、能見度監視器和氣體傳感器。L 3510易於維護和服務。該設備配備了一系列監控參數和可調操作模式控件，便於診斷和故障排除。此外,該設備還配備了一系列安全功能,包括增強性能的自診斷機。該設備還與一系列兼容消耗品兼容,便於更換和清潔房間操作。總之，GASONICS/NOVELLUS L 3510是一種先進的蝕刻器/asher，設計用於高精度的窗口和表面輪廓成形過程。它配備了多種特性，使其成為微觀和納米級應用的絕佳選擇，同時也提供了可靠和安全的操作。在性能方面，該裝置具有高精度，並提供一系列可調節的參數。GASONICS L 3510易於維護和維修，是蝕刻和灰化工藝的理想選擇。