二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010 #9230241 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3010是GASONICS Systems為生產半導體材料時所使用的基板的精密蝕刻而創建的蝕刻器/asher。該機采用雙光束成像設備，將CO2激光器與電子束（電子束）光刻系統相結合。這種組合允許對圓形、正方形和矩形基板進行成像，其分辨率和精度都比競爭的蝕刻器更高。GASONICS PEP 3010處理多種底物，包括砷化銨（GaAs）、矽、磷化銨（INP）、​​的和等化合物半導體材料。蝕刻器設計用於處理表面幾何形狀平坦、厚度從0.1mm到0.25mm （1/10到四分之一毫米）的基板。它還處理各種蝕刻速率,可在不同深度復制,並可容納半導體工業中可用的各種掩模尺寸和基板。蝕刻器包含兩組專用組件。第一組是成像裝置，由激光和電子束光刻工具組成。激光模塊具有反射鏡、光束擴展器和檢流計反射鏡，用於聚焦激光束，精確瞄準所需的基板面積。第二組包含氣流組件，其中包括一個氣氣室、一組螺線管閥門和一個電導控制的淋浴頭。這些組件用於精確調節蝕刻氣體的流動，從而獲得所需的蝕刻速率、深度和輪廓。NOVELLUS PEP 3010可以通過人機接口（HMI）預編程不同蝕刻任務的配方。食譜允許用戶編程定制的蝕刻參數，如氣體流量、氣體壓力和溫度、電壓以及脈沖持續時間。該機器還具有一組警報和一臺自動恢復機器,可以提醒用戶在蝕刻過程中可能出現的任何問題。PEP 3010與幾個外圍組件協同工作,例如噴射蝕刻器和自動基板裝載機/卸載機。射流蝕刻器利用反應性氣體射流與惰性氣體結合，以高速和高分辨率引導蝕刻，進一步提高了蝕刻工藝的精度。自動基板裝載機/卸載機在蝕刻器和噴射蝕刻器之間運輸基板，提高了蝕刻過程的效率和吞吐量。GASONICS/NOVELLUS PEP 3010是生產半導體材料的理想工具。其體積相對較小、速度和分辨率較高、配方先進，可實現蝕刻的最大效率和精度。此外，該機器被設計用於各種工業環境，從而使其成為一種用途極為廣泛但功能強大的蝕刻工具。