二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824443 待售
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GASONICS/NOVELLUS PEP 3010A是為生產高密度集成電路（IC）產品而設計的蝕刻設備。它可以在矽、藍寶石和砷化的基板上同時蝕刻小面積和大面積的晶片。該系統非常適合高通量生產,因為其化學溫度沈積（CTD）功能使其能夠在10-15秒內以高精度重復蝕刻圖樣。該單元包括一個雙層預刻級，允許它在一個通道內蝕刻兩個不同的層，這有助於減少大面積晶片的生產時間，以及提供更高分辨率的圖樣。其計算機控制的XYZ微步進機械手臂精度高，具有精確的模式對準和叠加精度。機器人手臂的回路控制，在蝕刻雙層晶片時也保證了更高的精度。GASONICS PEP 3010A具有耐用的氧化防護塗層，可以承受蝕刻和鈍化加工的延遲。這使得它可以用於多個蝕刻階段的更復雜的應用。機器也有板載等離子體源，協助各向異性蝕刻。此功能使它能夠根據需要創建更高長寬比的氛圍、接觸切口和其他功能。該工具還設計用於安全，具有冗余腔室過濾資產，以保持清潔。它還包含手動和模型安全聯鎖，以減少操作員出錯的機會。板載數據記錄和分析設備有助於確保按照質量規範進行蝕刻。總體而言,NOVELLUS PEP 3010A是高密度集成電路生產的理想蝕刻系統.它能快速蝕刻雙層晶片，其板載等離子體源提供各向異性蝕刻能力。其堅固而安全的設計確保了每個蝕刻作業都能以最高的安全性和準確性進行。
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