二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824576 待售
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GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一種最先進的蝕刻器/asher設備，用於在各種基板上進行微加工裝置。它能夠使用化學氣相沈積（CVD）和等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）對基板進行制圖、蝕刻、平面化和塗覆，用於設備的微加工。該系統有四個獨立的反應室，允許在單個底物上完成多個過程。GASONICS Aura 2000有兩個獨立的氣體輸送系統，一個用於CVD，一個用於PECVD。該機組設有超聲波加濕器，用於控制反應室的濕度，確保汽化氣體環境均勻。加熱室還配備了大功率等離子體源，使特征的蝕刻和平面化成為可能。此外，可以使用多晶石塗層在大面積的結構化表面上保形沈積薄膜。NOVELLUS Aura 2000的控制器具有易於使用的圖形用戶界面軟件,使用戶能夠設置和監視其進程運行。該控制器可以連接到機器中的其他計算機，允許遠程操作和監視。遠程接口還允許遠程工具診斷和更新。Aura 2000是一種高級蝕刻器/asher，用於執行各種圖案、蝕刻和塗層工藝。四個獨立的反應室、雙氣體輸送系統和集成控制器使其成為設備微加工的強大工具。該資產還與模型中的其他系統兼容，允許遠程操作和監視。
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