二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824582 待售
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GASONICS/NOVELLUS PEP 3010A是一種蝕刻器和asher設備，利用一組排序的物理和化學過程來實現電路板和半導體元件上復雜形狀的制造。它配備了來自氮氧混合物的高分辨率等離子體束，聚焦於目標區域，提供所需圖樣的高精度成像。該系統能夠實現可重復和可重復的過程,其精度高達0.02 μ m,比行業標準高出三倍。GASONICS PEP 3010A可配置用於步進光刻、幹蝕刻、濺射沈積和聚焦離子、等離子體植入離子束等多種亞微米工藝。此外，NOVELLUS PEP 3010A能夠進行表面蝕刻和導電金屬層的沈積，以構建復雜的集成電路結構。它配備了一個定向等離子束的多向束偏轉站，允許等離子體驅動的光刻在0.02微米。PEP 3010A有一個集成的等離子體供應單元，旨在確保在所需壓力和流量下提供必要的氣體，以便進行高效處理。它還配備了一個閉環控制器，不斷監測和調整氣體流量和氣體成分的優化。它還設計了微型抽吸系統，可以精確控制蝕刻和濺射速率，以及金屬沈積層的確切時序。機器還設計有一個自動化的端點傳感工具，允許精確控制所需的蝕刻速率和層厚。當達到所需的輪廓和層厚度時,此資產會持續監控蝕刻過程和信號。此外，GASONICS/NOVELLUS PEP 3010A還配備了先進的診斷模型，具有快速準確的故障檢測和自動恢復功能。一套完整的工具,允許方便可靠的維護完成包.GASONICS PEP 3010A的設計滿足了當今最具挑戰性的蝕刻要求,提供了最先進的工藝所需的靈活性和精確度。精確成像、快速準確的端點傳感和自動化維護相結合,使NOVELLUS PEP 3010A任何蝕刻和濺射應用的理想解決方案。
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