二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3500 #9202560 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3500是一款最先進的蝕刻器/asher,可為直徑不超過6英寸的基板提供卓越的性能和工藝靈活性。它可以用氧化鋁或石英PETR單步加工晶片。GASONICS PEP 3500具有低腔室氣流設計,可延長運行時間,提供精細的點和間隙填充以及復雜的結構。它有獨立控制電子束槍更嚴格的過程控制。每把槍都是可編程的，功率高達500瓦，可以以每分鐘40英寸的速度在基板上移動。光束槍集成到模塊化、全場、磁化的源支架中，提供了選擇源的靈活性，並允許廣泛的材料蝕刻和灰化要求。其優化的壓力控制系統在加工過程中保持較高的基礎壓力水平。為了提高安全性，整個腔室由不銹鋼制成，設計用於工業環境中的長期運行。該系統還具有冷卻系統，在加工過程中防止熱量積聚和保護基板。NOVELLUS PEP 3500配備了多級安保措施，符合安全分析和/或職業健康安全管理系統的要求。此外,車載高速維護調度程序允許采取主動和預防性的維護措施。總而言之，PEP 3500 蝕刻器/asher提供卓越的性能和工藝靈活性，使其成為任何半導體蝕刻應用的理想選擇。