二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Iridia #293658056 待售
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ID: 293658056
晶圓大小: 8"
Asher, 8"
Dual chamber
Component configuration:
Cassette unit:
Cluster PCM
YASKAYA XU-CM 4730 Robot controller
Chamber unit:
(2) Lift and right PCM
(2) MISC Controllers
(2) Gas controllers
(2) M/W Controllers
(2) Lamp controllers
(2) EUROTHREM 818S Temperature controllers
(2) NIKON M680 Temperature controllers
ASTEK D13765 M/W Generator (Right side)
(2) ENI ACG-6B RF Generators
(2) MKS MWH-5 RF Matchers
(2) MKS MWH-R RF Matcher boxes
(2) MKS 600 Series Pressure controllers
(2) MKS 638B-2-50-2 Pressure valves.
Gas supply:
Gas name / Range / Size
CF4 / 200 mm / 1/4" VAC
N2 / 500 mm / 1/4" VAC
O2 / 500 mm / 1/4" VAC
HE / 2 SLPM / 1/4" VAC
NF3 / 20 CC / 1/4" VAC
O2 / 50 SCCM / 1/4" VAC
Purge N2 / - / 1/4" VAC
Utility description:
(4) QC6 Connectors
(2) ISO 80 Chambers
(2) 3/8" SWG Male chambers
Misssing parts:
YASKAYA XU-RCM 4700
ASTEK D13765 M/W Generator (Left side)
Power supply: 208 V, 5-Wire, 150 A, 50/60 Hz, 3 Phase.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia是為先進的半導體應用而設計的先進蝕刻/asher設備。它是一個裝有180瓦直流等離子體源的PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）系統。它配備了一個源功率控制單元，可以0-180瓦以0.1瓦為增量，允許精確控制蝕刻/灰化過程。該機還具有每分鐘5-1000轉（rpm）的基板旋轉能力，由CCD相機控制，用於精確的基板定位。GASONICS PEP 3510 Iridia設計有石英蝕刻/灰化室，使用最多兩到四種氣體進行蝕刻和灰化。石英確保蝕刻和灰化過程不會受到諸如金屬等在過程中可能分解的汙染物的汙染。NOVELLUS PEP 3510 Iridia還有一個氣體輸送裝置，可以將各種氣體混合物輸送到蝕刻/灰化室。這使用戶能夠微調控制蝕刻和灰化過程的閘閥的開啟和關閉時間。PEP 3510 Iridia具有高純度離子源，90度角，功率高達200瓦。它能夠產生各種離子和自由基，可用於蝕刻和灰化。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia有一個多層的氣體控制機，能夠進行精確的蝕刻/灰化水平，並能夠設定廣泛的工藝參數，例如蝕刻/灰化持續時間、壓力、溫度和流量。最後，GASONICS PEP 3510 Iridia配備了等離子體監測儀，能夠實時測量氣體濃度。該監視器還使用戶能夠實時查看等離子波，以確保最佳工藝條件。最後，NOVELLUS PEP 3510 Iridia是一款高端蝕刻/asher工具，設計用於先進半導體材料的精密、受控蝕刻和灰化。它的高級功能為用戶提供了對流程參數的控制,並使他們能夠實時監控流程,使其成為蝕刻/灰化操作的理想工具。
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