二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Plus #293753218 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus是一款為先進的半導體器件處理而設計的蝕刻器/asher。它是一個多盤蝕刻器/asher，有四個獨立加載的晶圓盤支架。該機具有先進的工藝控制、高吞吐量、低總擁有成本等先進功能。GASONICS PEP 3510 Plus具有單一晶圓加工室,具有優化的蝕刻和灰化功能。它有一個方便的訪問前面的負載/卸載門，使晶圓傳輸和加載在一個步驟。它具有晶圓保持機構，以確保精確的運動和適當的晶圓到腔室對準。該腔室包括層蝕刻分配（LED）工藝，以提供卓越的等離子體蝕刻控制，並實現精確的層厚度控制。NOVELLUS PEP 3510 Plus還采用了優化的高通量端點檢測算法（ETD），以減少過程變異性，提高層均勻性。它使用帶有層蝕刻監控器（LEM）的自動化原位過程監控,通過監控蝕刻過程參數和過程時間來減少浪費和最大程度地減少層厚度損失。最後,PEP 3510 Plus具有資源智能功能,能夠確定最佳配方和工藝周期,以實現所需的設備結構特性,提高設備產量並降低總擁有成本。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus旨在處理先進半導體器件加工的最高吞吐量要求，並給出優異的效果。具有高溫鈦蝕刻室,蝕刻均勻,具有優良的灰化性能.它還具有低能量輸入設置，以減少顆粒汙染並提高設備可靠性。GASONICS PEP 3510 Plus的高精度結果在標準間隙和復雜設計中實現了20納米以下水平的蝕刻和灰化。該機器還被設計為符合適用的安全標準，包括OSHA、NFPA和CSA。總體而言,NOVELLUS PEP 3510 Plus是一款多板蝕刻器/灰化器,具有增加工藝控制、實現精確的層厚控制、減少工藝可變性、最大限度地減少層厚損失和降低總體擁有成本的特點。它具有較高的吞吐量能力和優化的端點檢測功能,可確保卓越的工藝效果。這使得它成為高級設備處理的理想選擇。