二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Plus #293794156 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus是一款多功能蝕刻和灰化設備。它是一種高度自動化、高度靈活、易於使用的擴散、植入、蝕刻和加工基材的系統。它有一個帶有全自動基板交換單元的階段，可以連續加載多達四個源盒式磁帶的基板。機器通過改變asher和etcher模式、腔室配置和基板直徑提供最大的靈活性。該工具還允許快速加載周期時間,從而減少停機時間。資產還帶有一個高溫蝕刻室和一個asher室。一個大的單氯-矽烷噴嘴用於在蝕刻和灰化過程中供應低溫均勻的反應性氣體。噴嘴配有可調氣體輸送模型，允許在整個基板上均勻分布氣體。GASONICS PEP 3510 Plus也有一個直驅控制設備，以更高的過程控制精度。該系統還具有一個全向晶片運動控制單元，旨在減少基板失真和振動。模塊化機器允許從內存中存儲和檢索各種各樣的過程配方。用戶可以創建蝕刻、灰化和其他前端或後端流程步驟的配方。該工具還包括一個計算機輔助過程工程（CAPE）軟件包，使用戶能夠為專門的過程對資產進行編程。該模型旨在提供高吞吐量、低粒子碰撞和低功耗。它還設計用於低真空或高壓環境，使其非常適合晶圓制造、半導體器件制造、磁盤驅動器制造和MEM制造等各種應用。NOVELLUS PEP 3510 Plus是實驗室或生產環境的理想設備。它采用了一套高質量的組件,使其可靠、耐用且經濟高效。