二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #293587292 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510是最先進的蝕刻器/asher。該腔室設計用於生產環境，最多可容納五個工藝腔室和一個或兩個預先清潔的腔室，具體取決於配置。這個先進的工具能夠執行單個晶片以及多個晶片的批處理。GASONICS PEP 3510具有Iontek升級功能,可實現精密離子植入。它有一個與源旋轉防禦設備互換的源室和一個7x10力傳感器來測量植入的均勻性。基板支撐室集成了凸起升降機，有助於防止基板上的汙染和熱梯度。氣體輸送系統最多可提供四種不同的氣體混合物，並配有一個保持清潔穩定環境的電閥連接和壓力控制單元。該室還擁有先進的溫度控制和冷卻機。它包括一個內置的冷卻器和一個提供溫度範圍為0到600C的溫度控制環境的爐。室內溫度由GASONICS ThermalVision Tool監控。為確保真空密封密封,NOVELLUS PEP 3510標配兩個堅固的閘閥。第一個閥門調節電壓輸入，而第二個閥門特別保持緊密的真空環境。此外，PEP 3510還具有高性能的專用氣體傳感器和探測器，以提供更多的防止汙染和沈積的安全性。該室配有先進的三向自動等離子體功率控制資產和優越的等離子體源。這確保了可重復、無缺陷的處理,並能更好地控制蝕刻。此外，該工具具有具有阻抗機器人的可編程邊緣成功入射模型，用戶可以輕松調整其蝕刻的邊緣輪廓。為確保清潔處理環境,GASONICS/NOVELLUS PEP 3510配備了功能強大的NOVELLUS Pulse-O-Mizer設備。該系統能夠產生極低能量的等離子體脈沖，用於去除顆粒，創造穩定無顆粒的操作環境。總體而言,GASONICS PEP 3510是一款出色的蝕刻器/asher。它具有有效的設計,具有執行精密蝕刻和灰化過程所需的所有必要功能,以及確保安全工作環境的附加安全功能。