二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9195884 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510是一款高速等離子蝕刻和灰燼工具，可用於多種行業環境。該設備通過利用行業標準的設備和工藝提供了高度的工藝精度。GASONICS PEP 3510的高級精度和性能非常適合任務關鍵和精細的任務,如MEMS和RF設備,在這些任務中必須有嚴格的公差。NOVELLUS PEP 3510提供了兼具蝕刻功能和灰燼功能的多功能功能,允許用戶在兩種模式之間切換,而無需進行額外的工具更改。這使制造商能夠快速輕松地在過程之間過渡,而無需進行昂貴且耗時的工具重新配置。PEP 3510還具有內置溫度控制器,可確保整個系統的溫度均勻,從而獲得最佳的工藝結果。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510破土動工設計，將專利氣體輸送單元與機加工真空室相結合，得到了更高精度和重復性的最佳等離子體蝕刻器。這種先進的技術使該工具能夠提供+/-2um的蝕刻均勻性額定值,從而確保無論環境如何都能獲得一致的結果。GASONICS PEP 3510還包括一個集成的腔室清洗功能，消除了耗時的手動清洗。NOVELLUS PEP 3510提供了一系列高級流程監視選項,可針對每個應用程序定制這些選項。過程流的實時顯示和較短的周期時間使蝕刻工作更加高效可靠。該機還擁有先進的安全系統，配有緊急關閉開關、腔室滅火工具、快速減壓閥和緊急停止功能。PEP 3510是一款非常有效的蝕刻器和asher,可為用戶提供動態的一系列功能,包括高速蝕刻和灰燼的能力,以及出色的各種尺寸和基板的工藝均勻性。此資產能夠將復雜的圖案和形狀蝕刻到各種材料上,並具有可重復性和準確性,甚至可以滿足最具挑戰性的行業要求。先進的安全系統和集成腔室清潔功能提供了額外的便利和過程控制。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510是一個理想的解決方案,適用於各種尋求高性能和可靠性以滿足其蝕刻和灰化需求的企業。