二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9195885 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 蝕刻器/asher是一種用於先進微加工工藝的高性能等離子體蝕刻和灰化設備。它被設計成一種經濟高效、經濟高效的矽基薄膜層蝕刻和灰化解決方案。GASONICS PEP 3510結合了專利的協流淋浴頭設計、多層屏蔽以及其他先進的蝕刻技術，提供了超精密、高精度的蝕刻工藝。該系統能夠實現非常薄的蝕刻和最小的汙染。NOVELLUS PEP 3510利用專利的共流淋浴噴嘴，將蝕刻劑和耦合蒸氣分成八個象限。這會產生一個均勻而精確的蝕刻過程，而不會產生微蝕刻失真或排空。PEP 3510具有一個專利的多層屏蔽單元,它區分蝕刻劑和耦合劑以改進過程控制。機器為蝕刻過程提供了一個熱隔離環境，最大限度地減少了微蝕刻失真。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510是一款極快且經濟的工具。它能夠實現高達每分鐘30微米的蝕刻速率。它能夠同時處理大量的基材，並且能夠容納各種各樣的供應商。該資產采用通用蝕刻配方，與多種氣體兼容，導致工藝復雜性和時間降低。GASONICS PEP 3510提供了許多附加功能,以確保盡可能高的產品質量。利用雙頻分布式電源防止電源波動，提供穩定的蝕刻環境。NOVELLUS PEP 3510還具有可編程的產品提升和配方優化功能,能夠精確控制過程參數。最後,它提供多種安全功能,包括遠程監控、緊急關閉開關和過濾排氣模型,以確保操作員的健康和安全。總體而言，PEP 3510 蝕刻器/asher是先進的微加工工藝的絕佳選擇。它提供了一種精確、快速和經濟高效的方法，可以在汙染最小的情況下蝕刻和粉刷薄膜層。它結合了先進的技術、創新的特點和安全措施，使其成為矽基薄膜層蝕刻和灰化的理想選擇。