二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9312374 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510是一種用於半導體器件制造的蝕刻和灰化設備。它是一個高端系統，結合了兩種最流行的工藝技術--等離子體蝕刻和帶狀灰燼。它具有較高的吞吐量,能夠實現過程集成,從而實現蝕刻和灰分過程的高產率。GASONICS PEP 3510由主控制模塊、真空單元和工藝室組成。NOVELLUS PEP 3510包含一個用戶界面,可通過其計算機控制機器實現自定義配方設置。真空工具控制著工藝室的壓力，是真空操作的，而主控制模塊則提供了對所有工藝功能的完全控制。PEP 3510使用比傳統蝕刻技術具有更高選擇性和蝕刻速率的等離子體蝕刻工藝。等離子體蝕刻工藝減少了蝕刻面膜上的載荷大小，從而提高了產量，減少了汙染的機會。蝕刻過程可以在單一方向或雙方向上執行,並且能夠獨立控制蝕刻方向。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510還提供了利用灰室從晶圓中剝離氧化物層的帶狀灰工藝。它是一種比濕式剝離工藝更有效率的幹式剝離工藝。灰室可以單步或多步模式操作，用於高度集成的工藝步驟。此外，GASONICS PEP 3510包含了多種先進的工藝技術，以增強蝕刻和灰分工藝。其中包括先進的晶圓處理系統、自動化晶圓和樣品加載系統、用於高通量速率的低溫輸送以及用於高級配方開發的專用工具軟件。總體而言,NOVELLUS PEP 3510是一種可靠的蝕刻和灰化資產,可通過高效的過程集成提供高收益。先進工藝技術與魯棒性的結合，使其成為半導體器件制造的絕佳選擇。