二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9146555 待售
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ID: 9146555
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Asher, 8"
Cassette Interface:
(2) ASYST Integrated SMIF
Wafer handler: Dual blade
Model: XU-RCM4700 rev 2
Left module:
Model: PEP 3510A (L)
Configuration: 95-0481
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies:
MWave PS: AGL C13170 (1250W)
Left module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 TYLAN FC-2900MEP
N2 200 TYLAN FC-2900MEP
N2H2 4000 TYLAN FC-2900MEP
Right module:
Model: PEP 3510A (R)
Configuration: 95-0482
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: AGL C13170 (1250W)
Right module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 TYLAN FC-2900MEP
N2 200 TYLAN FC-2900MEP
N2H2 4000 TYLAN FC-2900MEP
Power: 208 V, 50 Hz, 150 A, 1 Phase / WYE
1995 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A是一種高級蝕刻/灰燼工具,能夠進行高精度蝕刻和表面修改。它是一個集成的多階段工藝工具,支持單個平臺上的蝕刻和表面修改。這是通過使用一條氣體管線和一個精細間隔的電極陣列，以及各種功率水平和化學組合來實現的。該工具特別為滿足挑戰3 D內存和堆疊設備應用程序的要求而設計。GASONICS PEP 3510A提供了高達100晶圓/小時的無與倫比的速度，轉化為每晶圓不到10秒的過程時間。此外，該平臺允許從淺蝕刻深度到大於6微米的廣泛工藝範圍，並且對工藝的可重復性和精度有非常嚴格的控制。因此,蝕刻/灰燼工具非常適合具有多層深度結構、底壁陣列和FinFET的設備。該工具具有多種高級功能和選項,包括四平衡電極陣列、內置電容壓力計和光譜級數字質量流控制器。這允許嚴格的過程控制，以及精確的化學傳遞和溫度控制。NOVELLUS PEP 3510A能夠處理各種化學物質,包括氯化物、溴化物、氟化物、氧化劑等,使用戶能夠根據其具體應用定制過程。此外,PEP 3510A包括具有多個輸入和輸出的分布式電源支持。這有助於進一步確保過程的可重復性和準確性。最後,GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A是一款先進的高速蝕刻/灰燼工具,它包含多種功能和選項,可確保嚴格的過程控制、準確的化學傳遞和出色的可重復性。因此,GASONICS PEP 3510A是尋求可靠、高精度蝕刻和表面修改解決方案的用戶的理想選擇,以應對具有挑戰性的3D內存和堆疊設備應用。
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