二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9146556 待售
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ID: 9146556
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Asher, 8"
Machine hours: 29389
Cassette interface:
(2) ASYST Integrated SMIF
Wafer handler: Dual blade
Model: XU-RCM4700 rev 3
Left module:
Model: PEP 3510A (L)
Configuration: 95-0481
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: Astex OEM C13170 (1250W)
Hours: 34260.9
Left module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 BROOKS 5964
N2 200 BROOKS 5964
N2H2 4000 BROOKS 5964
Right module:
Model: PEP 3510A (R)
Configuration: 95-0482
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: Astex OEM C13170 (1250W)
Hours: 16547.1
Right module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 BROOKS 5964
N2 200 BROOKS 5964
N2H2 4000 BROOKS 5964
Power: 208 V, 60 Hz, 150 A, 1 Phase / WYE
1997 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A是一種高精度的蝕刻器/asher,設計用於多種應用。本機能夠對微電子和光電子制造中的各種材料進行精確的蝕刻或粉碎，具有很高的精度和可重復性。GASONICS PEP 3510A具有先進的基於軟件的電機驅動控制系統,可編程各種蝕刻或灰化參數,如腔室壓力、反應時間和溫度。這樣可以快速、準確地蝕刻或粉刷目標材料。NOVELLUS PEP 3510A還具有兩個不同的房間,它們保持在真空環境中。每個腔室都有自己的獨立控制的射頻電源,可以根據需要配置為蝕刻或灰化。PEP 3510A還提供多種安全功能,包括互鎖系統、關閉閥和壓力表。這些安全功能旨在確保蝕刻或粉刷的材料質量最高,並始終安全、準確地維護機器的環境。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A是一種高度通用的機器，能夠蝕刻或灰化多種材料，包括鋁、矽、砷化氙、磷化超等高性能材料。這使其成為用於高精度制造應用的理想機器。GASONICS PEP 3510A除了具有蝕刻和灰化功能外,還具有內置的等離子體源,可用於蝕刻後或灰化清潔。等離子體源可調節用於幹式等離子體清洗和濕式等離子體清洗。這有助於在蝕刻或粉刷後提供幹凈且無損壞的光潔度。最後,NOVELLUS PEP 3510A是一種極具效率的機器.其獨特的設計和先進的軟件控制電機驅動器提供了高性能和快速循環時間。此外,機器的控件簡單易用,確保用戶能夠快速準確地設置、編程和執行蝕刻和灰化過程。
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