二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9170813 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A是一種用於半導體行業大容量芯片制造應用的蝕刻和灰化設備設計。用於IC（集成電路）最新設計的模式傳輸和設備制造。該系統具有6通道並行處理體系結構,可在多種材料上進行高效的蝕刻/灰分處理,非常適合大批量生產。該單元還配備了緊密的工藝集成，可以輕松與其他GASONICS設備集成。該機由一個機器人裝卸碼頭、一個主機處理器、一個真空室以及多個活塞和真空泵組成。機器人碼頭使用鉸接臂將晶片從盒式磁帶排隊站移動到蝕刻室。大型機處理器允許精確控制蝕刻參數。真空室在蝕刻和灰化過程中保持晶片，活塞和真空泵用於移動、控制和維持腔內的壓力。該工具能夠蝕刻和灰化多種材料，包括矽片、鋁、銅、鎢等。它能夠在一個單室中每小時處理多達4500個晶圓。該資產還具有各種蝕刻和灰化參數，可以對其進行編程，從而提高精度和可重復性。該模型具有創新的安全和汙染物控制功能。晶圓盒在轉移過程中與設備隔離，減少了受到汙染或損壞的機會。該系統還包括晶圓濕度傳感器、確保適當晶圓裝卸的靜電卡盤，以及將顆粒物和蒸氣汙染降至最低的高效過濾器。GASONICS PEP 3510A是一款功能強大、可靠的蝕刻和灰化裝置，專為滿足半導體行業的高容量晶圓加工需求而設計。它具有高性能、緊密的過程集成和創新的安全特性,是需要精確、可重復模式傳輸的芯片制造操作的絕佳選擇。