二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800 #9352587 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800是一款先進、高效的蝕刻器/asher設備,為精密應用提供無與倫比的性能。該系統是圍繞並行處理概念構建的，與目前可用的許多其他系統相比，可以更快、更高效地運行。GASONICS PEP 4800帶有兩個使用平行金屬化轉移（MFT）技術將金屬膜沈積到基板上的高精度、低輪廓腔室。這樣可以在整個過程中進行精確的蝕刻和灰化,同時保持基板的清潔度。該單元配備了兩個獨立控制和分別定位的等離子體。過程參數可以通過集成的PEP控制機輕松配置，提供完整的刀具監控。為了保證優質沈積,NOVELLUS PEP 4800采用了高級診斷、質量檢查和反饋協議。集成的過程控制使用戶能夠實時監視蝕刻和灰化過程。此外,PEP 4800還采用了高效的基板控制資產,具有真空、大功率直流電源、端點檢測模型和可更換的基板支持設備。GASONICS/NOVELLUS PEP 4800還配備了一系列先進功能，包括主動基板冷卻和自動化多源氣體混合系統。氣體混合裝置的設計旨在確保高揮發性氣體分子的一致混合物，並允許高度精確的塗層沈積過程。此外,GASONICS PEP 4800還設計了高級安全功能,以確保安全運行。這包括氣密室、雙緊急停止開關、氣體關閉正時以及集成過濾的排氣機。總體而言,NOVELLUS PEP 4800是精密蝕刻和灰化應用的理想解決方案。該工具提供高性能效率和準確、高質量的結果。由於采取了先進的安全措施，它還確保了安全和可靠的操作經驗。PEP 4800是對復雜器件體系結構進行蝕刻和灰化的綜合解決方案的一部分,因此是現代半導體工業的寶貴工具。