二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #293595640 待售

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia是為超高精度臨界層蝕刻和高速處理而設計的工業蝕刻器/asher。它能夠執行廣泛的高端加工要求，如淺溝槽蝕刻、溝槽到溝槽鍍、幹蝕刻、背面接觸蝕刻。利用先進的光刻設備和氣體輸送系統，該機能夠在亞微米級生產具有挑戰性的結構，具有很高的精度和可重復性。該機配備了獨特的雙級板旋轉單元，確保了高一致性，並允許最佳放置蝕刻和灰化層。PEP 4800DL能夠處理多達8英寸的基板。（200毫米）直徑，最大0.4英寸。（10毫米）厚。它使用濕蝕刻和幹蝕刻工藝，允許生產高度復雜的設備。作為標準特性，該機配備了強大穩定的直流/交流等離子體源，時刻提供穩定的羽流。為了獲得最大的靈活性，該機器可以配備多達24個獨立的處理室，並且能夠處理各種各樣的化學前體和氣體。先進的集成氣體輸送機提供了高度可靠和一致的氣流，確保了任何蝕刻或灰化要求的完美工藝匹配。PEP 4800DL是完全自動化的,具有內置的監控和數據采集工具,消除了操作員的幹預,並提供了準確、可重現的結果。它配置了一個復雜的計算機控制的流程周期，允許工程師修改流程參數和優化流程。此外，它還可以配備一個可選的後處理機制，以確保在加工過程中完全無瑕疵。該機還集成了NOVELLUS/GASONICS/NOVELLUS售後過程監控和分析軟件，允許在處理過程中進行完整的過程控制和跟蹤。