二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #9308743 待售
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GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia是一款用途廣泛、功能強大的蝕刻器/asher,適用於研究和生產應用。GASONICS PEP 4800DL Iridia采用最新技術構建,能夠為生產級應用提供高速蝕刻和快速吞吐量。它設計用於產生高分辨率和高分辨率的結果，具有出色的精度和可重復性。NOVELLUS PEP 4800DL Iridia在蝕刻各種材料方面也提供了出色的圖樣傳遞能力和選擇性。PEP 4800DL Iridia與先進的控制設備集成在一起,可實現高效操作和對蝕刻和灰度參數的卓越控制。面板控制系統可以自動調整蝕刻劑量、處理時間和能量。這款智能蝕刻單元還配備了基於配方的機器，可以讓用戶快速、輕松地對具有多個步驟和參數的蝕刻配方進行編程。它具有晶圓映射工具，有助於準確跟蹤晶圓在腔內的位置，並確保每個晶圓用其個性化參數進行處理。GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia旨在提供一致的高質量蝕刻和灰化結果以及多種應用。它能夠蝕刻電介質、金屬、鐵電膜和光致抗蝕劑，以及粉刷各種有機膜。利用獨特的旋轉氮化硼蝕頭和高真空工藝環境，產生優越的表面和均勻的形狀特征。此外,GASONICS PEP 4800DL Iridia還提供了廣泛的蝕刻功能,包括深、淺、大、小結構和高選擇性。NOVELLUS PEP 4800DL Iridia允許用戶根據自己特定的生產需求定制蝕刻工藝。它為前端加載和真空級別以及用戶可選擇的溫度方案提供了靈活的配置選項。PEP 4800DL Iridia采用了最先進的診斷技術,可以輕松監控蝕刻過程、檢測問題,並以最小的努力保持最佳性能。此可靠的蝕刻器/asher設計用於在每個蝕刻作業中保持精確的可重復性,同時通過其集成的自動化和支持功能提供卓越的吞吐量。
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