二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #9382963 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia是一種等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）設備,為微電子器件的應用提供高級工藝優化的蝕刻和灰化技術。這種蝕刻器/粉碎器通過精確控制沈積的均勻性、可重復性和均勻性,促進了設備的高效形成、集成和增強,消除了設備層的可變性,並實現了精確的薄膜沈積。該系統集成的晶圓加熱器、自動化和改進的色散技術使過程控制能夠可靠有效地實現可重復結果。GASONICS PEP 4800DL Iridia利用高性能氣毯裝置支持各種蝕刻化學,提供業界領先的蝕刻速率和均勻性。這臺機器采用了先進的軟件技術,允許以可定制的方式進行過程優化和微調,從而為各種設備類型提供高質量的過程結果。蝕刻器/asher的專利動態過程集成（DPI）技術利用先進的算法在晶圓逐個的基礎上優化蝕刻和研磨作業。DPI技術智能地解釋晶片級數據，允許用戶定制作業配方，以最大限度地提高吞吐量、產量和質量。NOVELLUS PEP 4800DL Iridia先進的軟etch™技術可實現寬帶、低壓蝕刻,便於控制蝕刻深度的變化,而不會出現蝕刻速率的變化。這允許制造更精細蝕刻的結構和納米級特征,從而實現更好、更復雜的設備設計。該工具由具有Adaptive Processing Control™技術的高性能全自動控制資產提供動力,使用戶能夠輕松調整蝕刻和灰化參數,從而實現完美的晶圓質量和均勻性。該模型還提供遠程Assistance™軟件,提供專業的遠程按需服務,以最大限度地提高工作效率並最大限度地減少停機時間。為了進一步提高工藝效率，PEP 4800DL Iridia具有快速直流愈合和預洗滌技術，無需在蝕刻前蒸發HCl。該設備還配備了自清潔工藝，允許在蝕刻運行之間快速凈化晶片。總體而言,GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia是一個功能強大且先進的蝕刻器/asher系統,專為微電子器件的高質量蝕刻、灰化和沈積而設計。GASONICS PEP 4800DL Iridia具有先進的工藝優化和定制功能,出色的控制和一致性,以及高效的分散和清潔技術,是任何制造工廠的絕佳選擇。