二手 GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL #9404470 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL是設計用於半導體、材料科學和亞微米器件制造環境的最先進的等離子體蝕刻器/asher。這種設備能夠執行各種蝕刻和灰化工藝，設計用於大批量生產。該系統采用雙激光等離子體蝕刻工藝，意味著使用兩種不同波長的激光器同時蒸發材料，在整個基板上實現出色的蝕刻精度和均勻性。GASONICS PEP 4800DL配備了一個5x5mm光束點,能夠蝕刻到5nm以下的特征尺寸。該單元每批最多可容納600個晶圓，還通過配方和編輯功能進行編程，允許用戶自定義蝕刻配方以符合其特定的設備要求。該機器同時配備了化學和氣源，使其能夠處理廣泛的材料。化學源由化學供應組成，化學供應通過柔性軟管與工具相連。氣源由射頻供電的設備組成，該設備用於向資產供應蝕刻和灰化氣體。該模型還有一個高真空室，以及幾個原位和異地監測傳感器，允許用戶在整個蝕刻周期中監測蝕刻過程。這樣可以確保高度的過程控制,並確保均勻的蝕刻性能。設備還配備了綜合安全套件，確保操作員安全。總體而言，NOVELLUS PEP 4800DL是一種高度可靠和精確的等離子體蝕刻器/asher，專為大批量生產用途而設計。該系統具有出色的蝕刻精度和均勻性,能夠將功能蝕刻到5 nm以下,並配備了一套功能,用戶可以自定義其蝕刻配方以滿足其特定的設備要求。