二手 GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #122244 待售

ID: 122244
晶圓大小: 8"
優質的: 2005
Asher, 8" (2) Chambers 2005 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP Iridia,一種蝕刻器/灰化器,是一種專門的電化學、納米印制系統,用於高精度的介電和導電模式。它是開發復雜、高性能半導體器件結構的全集成解決方案,適用於多種應用。GASONICS PEP Iridia是集成產品開發和制造的理想選擇。它具有先進的工藝監控和復雜的精密控制,能夠實現高達40:1的高長寬比結構,不會損壞晶片。NOVELLUS PEP IRIDIA還具有生產特征尺寸小至16nm的結構的能力,在整個晶片中具有出色的均勻性和特征邊緣質量。GASONICS PEP IRIDIA的其他特點包括:通過先進的系統自動化提高生產率的高吞吐量有效地沈積和蝕刻各種材料的能力, 包括電介質和導電材料,包括碳化矽、氮化矽和氧化矽高長寬比圖樣制作3D蝕刻結構的能力 NOVELLUS PEP Iridia是一款超精確半導體器件生產的極其精確可靠的蝕刻器/asher。其特點將確保在生產高復雜、高性能的器件結構方面的卓越精度和一致性。此工具是設備制造的最佳選擇,對於任何希望獲得可靠、準確和功能強大的半導體產品的制造商來說都是無價的。
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