二手 GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #122247 待售

GASONICS/NOVELLUS PEP Iridia是由GASONICS和NOVELLUS設計的專門蝕刻/灰燼設備，以提高蝕刻和灰化工藝的復雜性和速度。GASONICS PEP Iridia利用先進的激光燒蝕技術，為微電子工業中使用的半導體晶片的化學掩蔽和蝕刻提供了高效、通用的解決方案。NOVELLUS PEP IRIDIA具有多軸掃描頭,可在晶圓的整個表面積上實現高精度激光燒蝕。這個掃描頭包含一個可配置的激光發射器陣列，當瞄準化學掩碼時可以創建形狀/強度組合的復雜網絡。其計算機控制的掃描速度可達300毫米/秒，脈沖寬度在1-300毫秒之間。這種靈活的掃描和高速操作有助於加快否則緩慢的化學掩模和蝕刻過程。此外,PEP Iridia還使用功率為0-200 mJ/cm^2脈沖的激光源,使操作員能夠根據需要微調蝕刻和灰燼過程。這提供了調整和定制的靈活性,以便能夠根據手頭應用程序的需求對結果進行完美定制。此外，該系統的設計考慮了用戶安全，具有雙安全聯鎖和一個新的生物彈性安全層，有助於吸收和消散沖擊。整個蝕刻/灰分單元高度自動化和可配置,易於設置和操作。GASONICS PEP IRIDIA與GASONICS/NOVELLUS和GASONICS軟件結合使用，使復雜的設計圖紙可以快速輸入，然後準確翻譯成蝕刻/灰燼配方。該機器最終實現了高效、可重復和可靠的化學掩蔽和蝕刻工藝，精確度極高。