二手 GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #9102816 待售
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已售出
ID: 9102816
優質的: 2005
Poly etcher, parts machine
(2) Chambers
Cluster PC
(2) PCM PC
YASKAWA Robot
YASKAWA Robot controller
Main body
Missing parts
Cluster mini controller
Left PMSC mini controller
Left PGAS mini controller
Left PMWV mini controller
Left PEOP mini controller
Left lamp mini controller
Left temp controller
Left M/W generator
Left RF generator
Left RF matcher
Left RF matcher box
Left PUMP
Left chiller
Right PMSC mini controller
Right PGAS mini controller
Right PMWV mini controller
Right PEOP mini controller
Right lamp mini controller
Right temperature controller
Right M/W generator
Right RF generator
Right RF matcher
Right RF matcher box
Right pump
Right chiller
MFC Gas 1
BROOKS
6265C
CF4 100 SCCM
MFC Gas 2
BROOKS
6265C
N2 500 SCCM
MFC Gas 4
BROOKS
6265C (Right: S9Z84402)
H2 2SLPM
MFC Gas 5
BROOKS
6265C
NF3 20 SCCM
MFC Gas 8
BROOKS
6265C
O2 50 SCCM
Includes:
(2) Chillers
No pump
2005 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP Iridia是一款先進的蝕刻/asher設備，設計用於300 mm以下晶圓加工。它可以在廣泛的過程中使用，如光致抗蝕劑和剝離、屏障層、淺溝隔離和III-V復合層。GASONICS PEP Iridia建立在先進的蝕刻技術之上,具有同步氣體輸送（SGD）和雙晶圓負載鎖定接口.這樣就可以精確控制所使用的化學物質，從而能夠非常精確地應用所需的蝕刻物種。NOVELLUS PEP IRIDIA能夠精確控制蝕刻劑中活性物種的比例，允許較高的產品均勻性和改進的工藝規格。另外還有變頻氣體交換（VFGE）,它允許所有系統配置上的可互換過程。PEP IRIDIA是一個完全集成的蝕刻裝置，可以處理多種晶圓尺寸。它是為連續晶片加載和卸載而設計的，帶有允許單個晶片過程的軟件。機器可以與連接到刀具的一系列高級傳感器集成在一起，從而能夠實時監控過程。這增加了蝕刻工藝的準確性和穩定性。NOVELLUS PEP Iridia還通過全自動熱分析資產提高了溫度控制和精度。這與一個高度靈活的氣體控制模型相匹配，該模型允許使用最新的PECVD和ICP工藝。總體而言，PEP Iridia是一種先進的蝕刻/asher設備，設計用於300 mm以下晶圓加工。它采用了一系列先進的技術,在蝕刻過程中實現了精度、穩定性和準確性,並采用了一系列軟件來實現靈活性和定制。
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