二手 GASONICS / NOVELLUS PS 10 #9192618 待售

GASONICS/NOVELLUS PS 10是一種為半導體制造過程中的高級沈積或蝕刻過程而設計的蝕刻器/asher設備。系統由兩個主要單元組成；螺旋400W電源和LAM 9600等離子蝕刻器/灰燼。它是一種經濟高效的解決方案,能夠創建高質量和高精度的電路特性,如薄膜、線條、層和通風孔。螺旋400W電源由智能、自調節輸出模塊和可控輸出級組成，在蝕刻和灰化過程中提供均勻的電流和電壓。它具有靈活性,能夠根據特定流程的條件和要求進行定制。此模型還提供高級控制功能,這些功能通過其用戶友好的軟件界面啟用。另一方面，LAM 9600等離子體蝕刻器/灰化器與專門為高級蝕刻和灰化工藝開發的高密度等離子體腔室集成在一起。它配備了一個四英寸的晶片加載單元，在批量模式下最多可處理20個晶片，設計目的是為了滿足行業對清潔度和工藝安全的最高要求。它還提供了一系列處理功能,例如高通量蝕刻和灰化,同時保持高精度。此外，GASONICS PS 10機器還提供互鎖系統和安全流程等一系列安全功能，使其能夠安全處理危險高溫。該工具利用氮氣淋浴和渦輪分子泵,幫助確保資產運行的清潔、安全和可靠的環境。最重要的是，該模型采用了先進的診斷設備，使其能夠檢測和診斷系統中可能影響其操作和性能的任何異常。總體而言，NOVELLUS PS 10單元是在半導體制造過程中進行高級沈積和蝕刻過程的有效和可靠的解決方案。它經濟高效,提供靈活的控制功能,並帶有許多安全功能,有助於確保安全可靠的工作環境。可以依靠它在最具挑戰性的蝕刻和灰化過程中提供一致和精確的結果。