二手 GASONICS / NOVELLUS Sierra #9312059 待售
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GASONICS/NOVELLUS Sierra是一個最先進的蝕刻器,具有先進和多用途的功能。該裝置具有真空室、真空噴嘴和均勻處理平臺，可對小基板進行精確和受控的蝕刻和灰化。低溫沈積（LTD）過程允許非常薄的沈積。GASONICS Sierra是集成電路（IC）制造的關鍵工具,它允許去除物料層或沈積一層或多層薄薄的物料。它能夠同時進行等離子體灰燼和幹蝕刻，每種工藝都用於不同的應用。可以選擇蝕刻劑以最好地適應正在加工的特定晶片基材和層材料。NOVELLUS Sierra具有很高的吞吐量，並且能夠有效地蝕刻包括鋁、多晶矽、氧化矽和耐火金屬在內的所有類型的材料。它具有廣泛的溫度範圍，允許各種蝕刻工藝。它非常可靠和高效,可滿足最大數量的線緣粗糙度（LER）和臨界尺寸（CD）要求。這使得它非常適合用於高質量的IC制造。Sierra還具有較大的腔室容量，允許處理大量的底物。它能夠快速高效地去除散裝物料，同時提供高精度。GASONICS/NOVELLUS Sierra具備高效轉移基板的能力,提供了極大的靈活性,從而實現了高效的材料沈積和去除。GASONICS Sierra專為IC制造而設計,其工藝需要薄層和高分辨率。它提供出色的可靠性、性能和靈活性,使其成為IC應用程序的理想蝕刻器和粉碎器。
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