二手 GASONICS / NOVELLUS Strata #293760972 待售
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GASONICS/NOVELLUS Strata是一種蝕刻器（又稱asher），用於先進的微加工技術和工藝。GASONICS Strata技術使公司能夠通過提高吞吐量、提高產量和改進顆粒控制,同時利用最小的占地面積來提高工藝產量和降低生產成本。具體設計為由三個主要組成部分組成的單模塊設備；等離子體源，腔室和磁瓶。等離子體源為650 kHz HF YBOCS，旨在以高精度和優越的工藝控制向底物輸送高劑量的電離氣體進行蝕刻。該設計還可確保基板保持清潔,且不含工藝中的微粒。第二個部件是腔室，由鋁制成，帶有保護層，並配有超靜音風扇，保持清潔一致的操作環境。磁瓶是系統的最後一個部件，位於等離子源和腔室之間，充當過濾器，以保證單元的清潔度和等離子源的一致運行。NOVELLUS Strata蝕刻機適合廣泛的材料包括；玻璃、矽和絕緣體矽（SOI）。Strata獨特的設計允許它使用各向同性和各向異性蝕刻技術來蝕刻材料,從而使用戶能夠獲得特定應用程序所需的蝕刻輪廓。GASONICS/NOVELLUS Strata采用改進的等離子體密封機和用於溫度控制和工藝優化的自動化工具,顯著減少了基板和工作區域的顆粒計數。這確保了高質量的產品能夠生產出微量的顆粒缺陷。GASONICS地層蝕刻器可用於濕法或幹法。在潮濕蝕刻環境中使用時，NOVELLUS Strata能夠產生精密的蝕刻輪廓，精確度可降至幾納米。資產還提供了材料的自動調整大小和重新設計圖樣的級別,從而實現了更加精確的蝕刻過程。幹蝕刻采用霧化工藝代替液體蝕刻工藝，提供了改進的工藝控制和更高的材料利用率。這使得幹蝕刻對於需要最低成本和高精度的應用程序來說是一個理想的過程。總體而言,Strata蝕刻器提供了一種高效且經濟高效的方法來生產高精度蝕刻圖樣和材料。該模型旨在提供卓越的性能、過程控制和吞吐量,同時要求最小的地板空間。GASONICS/NOVELLUS Strata蝕刻器具有改進的等離子體密封設備、自動溫度控制和顆粒計數降低功能,是尋求可靠和高性能蝕刻器的人們的理想選擇。
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