二手 GASONICS PEP Iridia #9293817 待售

GASONICS PEP Iridia是一種高精度蝕刻器/asher，用於制造高壓晶體管、光電子、光電器件等先進半導體器件。它建立在一個全自動的400毫米平臺上，具有激光驅動、掃描光學器件和雙源多氣體化學氣相沈積（CVD）工藝。該蝕刻器/asher采用了一種新穎的非氧化等離子體工藝，不需要額外的蝕刻步驟，並且在任何基材類型上提供高膜質量和優異的均勻性。PEP Iridia配備了幾種用於過程控制和可重復性的工具，包括先進的原位光學監控設備。其自適應控制系統自動維護溫度、壓力、氣體流量和蝕刻速率等沈積參數，以確保設備制造過程的低變化和可重復。此外，內置的過程監測單元還有助於實現準確的晶圓級進程，並具有一致的跨晶圓均勻性。GASONICS PEP Iridia擁有一臺精密的機器人機器，執行晶片加載、獲取、排序等功能。它在透鍍厚度、均勻性、精確度和線條完整性方面提供出色的性能。這使得它適合制造先進的半導體、多層電路和高寬高分辨率光掩模。PEP Iridia還具有集成的氣體輸送面板,可實現蝕刻過程中的最佳氣流。集成控制器調節氣體混合物，確保過程控制，優化熱管理。此外,利用內置的動態流程監視器,該工具可實現準確的流程監控,並提供實時流程數據反饋。GASONICS PEP Iridia是一種高性能的蝕刻器/asher，設計成即使在最具挑戰性的基板上也能產生均勻、可重現、高質量的結果。其智能化的設計和用戶友好的界面使其適合在廣泛的半導體應用中進行設備開發和工藝優化。