二手 GLOW RESEARCH ST1200 #9151878 待售
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ID: 9151878
晶圓大小: 10"
RIE system, 10"
DC bias for enhanced ion bombardment and anisotropy
Dark space shield to focus plasma
Variable electrode spacing
Top or bottom electrode power
Digital mass flow controllers
Baratron pressure read back
Throttle valve control
600 watt, 13.56 MHz
Touchscreen control
Multiple step recipes
Monitor process during process
End point solutions
Turbo pump
ICP
Heated chuck
Applications:
FA Applications
Spin on glass (SOG)
PECVD Nitride etch
Descum
Photo resist strip with heater
Contact slope etch
Via etch
BPSG Etch
TEOS Etch
Polyimide
Poly silicon.
GLOW RESEARCH ST1200是一種先進的蝕刻和灰化設備,用於滿足各種材料加工需求。其設計註重用戶安全和環境保護。該系統可用於幹式灰泥和濕式蝕刻。這允許使用ST1200執行各種自定義進程。GLOW RESEARCH ST1200包括一個先進的多部分蝕刻單元,利用集成的磁攪拌機構。這樣就可以在被蝕刻的材料上創建更復雜、更專業的形狀和設計。它還為過程中使用的各種基材提供了靈活性。ST1200配備了可編程的高真空傳感器,可監控蝕刻過程,並為每個操作編程最佳設置。這一特性確保了基板的所有區域均得到均勻處理,從而得到均勻的蝕刻速率和準確的結果。該機還兼容了一系列可選配件,如光澤儀,可以精確測量基板光澤。GLOW RESEARCH ST1200最令人印象深刻的特點之一是風冷強制空氣冷卻工具,它確保在蝕刻過程中保持一致的溫度控制。這樣可以確保周邊機器和附近人員在蝕刻過程中的安全。該裝置還配備了一個功能強大的自動控制器,可編程多種參數,包括被蝕刻材料的類型、蝕刻時間和冷卻速率。這樣可以精確控制蝕刻過程以獲得最佳結果。總體而言,ST1200是一項以安全和環境保護為重點的先進蝕刻和灰化資產。它具有廣泛的特點,可以精確控制蝕刻工藝,以確保統一的結果和附近人員的安全。該設備還與一系列可選配件高度兼容,以實現額外的定制和準確性。
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