二手 GPTC / GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300 #293637226 待售

GPTC/GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300是一種淺層蝕刻器/漸變器,具有廣泛的工藝、極高的精度和可重復性,可在基板上提供300 nm以上的陣列。該設備非常適合蝕刻和灰化工藝條件,旨在在單個步驟中產生小尺寸的特征。通過其先進的圖案技術，它能夠覆蓋大小特征或區域，具有極其均勻的蝕刻或灰度。GPTC 50-300是一個單步淺蝕刻和漸近系統，非常適合光刻劑去除和平滑等過程。該裝置由一個50厘米x 300厘米的框架組成，該框架容納四個25厘米x 50厘米的等離子體反應室，其法蘭界面與各種類型的固定組件兼容。框架還包括所有必要的機器部件，如等離子體源、電源、控制器和真空泵。GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300的獨特設計允許對蝕刻和灰化工藝進行嚴密的控制，以便在基板上實現嚴密的公差特征。其等離子體分布均勻，具有顯著的特征均勻性和分辨率，具有垂直性和緊密的線寬控制。利用先進的自動對準器工藝，該工具甚至可以實現對需要特殊精心控制的加工環境的危險微觀特征的蝕刻和粉刷，而不會有破壞部件的風險，該資產的先進配件，如針式等離子噴嘴、耐高溫光學面罩、快門面罩，確保了大面積的等離子體處理均勻。50-300還與高級固定裝置集成在一起,該固定裝置可靈活放置零件並進行邊到邊處理,同時保持良好的可重復性。它可以使用多種基材加工技術和異地沈積技術，如自旋塗層、接近塗層、蒸發和濺射。此外，它還可以使用各種氣體化學組合，如C2F6/SF6、CF4/O2和CF4/Ar混合氣體，其中混合比例可以很容易地調整，以達到所需的工藝結果。綜上所述，GPTC/GRAND PLASTIC TECHNOLOGY CORP 50-300蝕刻機是實現塑料零件和其他細膩材料的完美均勻蝕刻和粉刷而不受損壞或汙染物影響的理想解決方案。此模型提供了高精度的可重復性和準確性過程,其特征尺寸可超過300 nm。與所有高級蝕刻和灰化系統一樣,GPTC 50-300可以手動或自動模式操作,具體取決於用戶的喜好。