二手 HENNIKER Nebula 50 #293754252 待售

HENNIKER Nebula 50是為半導體、MEMS（微機電系統）和光電工業中的先進表面處理工藝而設計的尖端蝕刻器/asher設備。這種高度專業化的設備結合了蝕刻和灰化功能，為納米級的精確材料去除和清潔應用提供了一個通用平臺。星雲50的核心技術是基於高性能的RF（射頻）等離子體源，產生一個受控的等離子體環境，可以有效蝕刻或灰燼各種材料，具有高均勻性和重復性。該系統具有堅固的真空室，具有精確的氣流控制和溫度管理能力，以確保不同基板類型和尺寸的最佳工藝條件。HENNIKER星雲50的關鍵強項之一是它在處理各種材料類型方面的多功能性，包括矽、二氧化矽、金屬、聚合物以及其他用於先進半導體和微加工工藝的奇特材料。該裝置提供各種工藝氣體和氣體混合物，以根據特定的材料去除或清潔要求量身定制等離子體化學。星雲50的蝕刻能力允許選擇性地去除基板表面的物質層，以產生高長寬比和亞微米分辨率的錯綜復雜的圖樣、溝槽或vias。此功能對於制造具有精確幾何形狀和尺寸的高級半導體器件、MEMS傳感器和光學元件至關重要。另一方面，機器的asher功能提供了強大的清潔和表面改性工具，用於去除基板表面的有機汙染物、光致抗蝕劑或高分子殘留物，而不會損壞底層材料。此工藝對於蝕刻後殘留物去除、晶圓回收和在隨後的沈積或光刻等處理步驟之前的表面制備至關重要。HENNIKER Nebula 50配備了先進的等離子體診斷和過程監測工具，以確保對蝕刻和灰化過程的實時控制和優化。可以精確調整等離子體密度、離子能量、氣體分壓和基板溫度等參數，以達到所需的材料去除率、選擇性和表面質量。此外,該工具還具有用戶友好界面和直觀的軟件控制,便於配方設置、過程參數調整和數據分析。星雲50設計用於無縫集成到自動化生產線或研究實驗室中,在表面處理應用中提供高吞吐量和高效率。總體而言,HENNIKER Nebula 50是在半導體行業中要求苛刻的蝕刻和粉刷應用的最先進的解決方案,能夠以卓越的性能和靈活性實現精確的材料處理。其先進的技術、穩健的設計和用戶友好的操作使其成為推動納米級工程和制造邊界的通用工具。