二手 HITACHI 300LE #293667223 待售

HITACHI 300LE蝕刻器是一種高能力的蝕刻和灰化設備，用於微電子器件的高精度和高速燒蝕和蝕刻。300LE是一種堅固可靠的真空蝕刻器/灰化器，主要使用碳、氮化物和氧化物的蝕刻化學方法。HITACHI 300LE配備了全尺寸步進電機系統，能夠確保在X、Y和Z方向的精確控制和定位。它能夠提供高達1150mm/s的基板蝕刻速度，用於微電路和超導體的快速蝕刻。蝕刻器/asher單元提供精確的位置控制以及先進的溫度和時間控制功能。它還提供了用於管理基板溫度的SCA參數以及用於控制時間的WCA參數。它的高分辨率顯示屏配有高亮度LCD和圖形化的用戶界面，可以讓用戶輕松操作和監控整個機器。300LE具有在線過程控制,包括用於電弧控制的循環波形、用於蝕刻化學供應的氣流比例控制器、用於溶劑蒸發的帶有排水口的水力洗滌器、腔室惰性氣體再循環工具和Y軸、X軸和Z軸運動控制資產。此外,HITACHI 300LE蝕刻器具有高水平的安全性和符合人體工程學的設計,配有安全蓋、真空安全檢測器和緊急停止開關。它具有廣泛的工藝控制功能，允許用戶針對多種基材優化其蝕刻和灰化工藝。300LE還提供低、中、高蝕刻速度選項,以及廣泛的蝕刻化學方法,可快速去除任何氧化物、氮化物和碳基抗蝕層。總體而言，HITACHI 300LE蝕刻器是微電子基板高精度、高速蝕刻的絕佳選擇。利用其可靠的蝕刻化學和精確的位置控制，用戶可以在蝕刻和灰化過程中獲得高質量的結果。