二手 HITACHI DM 421P #9286876 待售

HITACHI DM 421P是專門為晶圓處理而設計的蝕刻器/asher。它具有緊湊的設計，有四個獨立的工藝室和一個簡單的用戶界面。設備用滑動門封閉，以盡量減少外界環境對敏感晶片材料的影響。系統可以在一個過程周期內同時處理多達四個晶圓。它帶有易於使用的生產配方腳本引擎、晶圓處理程序和3軸線性傳輸機制。該單元的水平加工室具有均勻的溫度分布，以確保在晶片上均勻蝕刻/放灰。DM 421P采用了具有精確溫度控制的高精度溫度控制器，實現了卓越的溫度均勻性和準確性。其幹式和濕式蝕刻功能使工藝工程師能夠優化其配方以滿足其應用要求。該機還配備了一套先進的自動化原位電化學監測器和傳感器，提供實時過程監控和反饋。智能傳輸工具可有效地處理晶片,而晶片處理命令可為多個過程實現簡單、可重復的自動化。HITACHI DM 421P還提供了一些安全功能,如惰性氣體清除、排氣口關閉報警器和緊急排氣口。這些功能可保護操作員免受潛在汙染物的影響,並確保提高過程的可重復性和可靠性。DM 421P附帶了一套全面的軟件工具,使用戶能夠優化配方並提供有關商會資產參數的詳細歷史報告。利用這些工具，用戶可以評估他們的工藝配方的有效性和模型的性能。總體而言,HITACHI DM 421P旨在為用戶帶來高精度晶圓處理功能,從而提供良好的控制和可靠的性能。它結合了獨立的腔室、高效的晶片處理和全面的軟件，使其成為任何蝕刻和灰化應用中不可或缺的工具。