二手 HITACHI / KOKUSAI RAM6500 #9251841 待售

HITACHI/KOKUSAI RAM6500是為工業和研究機構設計的最先進的蝕刻器和asher。這款市場領先的真空處理設備配備了先進的技術，將高精度蝕刻、晶圓切割和短時ashing功能結合在一個用戶友好的工具中。HITACHI RAM6500提供了無與倫比的多功能性,因為它的集成設計允許在單個操作周期內提供多種配方。其先進的功能包括溫度控制設備、範圍廣泛的工藝室以及方便操作設置的用戶友好界面。溫控系統保持恒定的工藝條件，提供可靠準確的結果。此外，寬範圍的加工室可以容納各種基材尺寸，從芯片到200毫米，允許更大的靈活性和更廣泛的應用範圍。KOKUSAI RAM 6500的用戶友好界面允許用戶輕松保存、召回和修改蝕刻參數。該工具還配備了安全功能，在發生任何操作變化時警告用戶，從而提供最佳安全性。此外,RAM6500還提供了出色的過程可重復性,可重復性得分在0.1 µm ±以內,確保了與每個鑄造廠運行的高精度和一致性。該單元由多種組件組成，包括控制器、自動基板支架、真空室、惰性氣體輸送機、蝕刻工具和灰化資產。所有這些組件協同工作,以快速高效地實現用戶所需的配方。此外,HITACHI/KOKUSAI RAM6500能夠同時蝕刻多達四個晶圓,從而提高了工藝效率並減少了總體工作量。總體而言,HITACHI RAM6500是一款高級蝕刻器/asher,它提供出色的工藝能力、多功能性和易於操作。它能夠實現高精度的蝕刻、切割和灰化,並結合用戶友好的功能,使其成為滿足各種蝕刻和灰化需求的理想解決方案。