二手 HITACHI M 308 #47835 待售
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HITACHI M 308是一款為廣泛的微電子應用而設計的蝕刻器/asher。它的特點使得它成為一個可靠的表面制備工具和先進的過程,如蝕刻和灰化。HITACHI M-308是一種用戶友好且精確的儀器,非常適合表面制備。M 308配備了24位數字控制來檢測熱失控,這有助於防止對基板的任何損壞。溫度的精確控制有助於一致的蝕刻深度和均勻的蝕刻結果。此外,M-308還設計用於通過精確的時間和溫度控制來保護敏感基板免受熱降解的影響。HITACHI M 308附有不銹鋼蓋及內外室壁。這種不銹鋼材料有助於在整個機器中保持恒定的溫度和熱失控保護。腔室壁具有特殊的隔熱材料,可防止操作過程中散熱。HITACHI M-308設計具有氣體安全閥和警報設備等安全功能,可阻止任何超出安全限制的氣體流動。除此之外,M 308還配備了兩個監測室內壓力的壓力傳感器和一個用於精確溫度控制的熱電偶。M-308還包括一個過程中的照片控制系統,該系統自動調整蝕刻周期的功率和寬度,以達到最佳蝕刻速度。HITACHI M 308軟件還包括蝕刻過的銅質參考照片,使蝕刻器能夠精確調整其循環參數。最後,HITACHI M-308提供了一個可調的蝕刻周期和一系列允許用戶選擇所需深度、速度和寬度的工藝配方。M 308還有一個具有1步收縮時間的自動平移單元,有助於確保所有區域的均勻蝕刻,從而更容易復制結果。最後,M-308是一個先進的蝕刻/asher設計了廣泛的微電子應用。其精確的溫度控制和廣泛的工藝配方使得它成為一個可靠的工具表面制備和先進的工藝,如蝕刻和灰化。其其他特點,如氣體安全閥、警報機、自動平移工具,使其安全易用。
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