二手 HITACHI M 308 #9068909 待售

HITACHI M 308是一款專業的自動化Etcher/Asher，旨在提供高精度、低成本的基板蝕刻和灰化。它的特點包括高頻靜電蝕刻器，以及低頻靜電灰化器，可以同時處理底物的化學和物理鍍金。這可以實現可靠的蝕刻/灰度處理,具有出色的重復性和均勻性。設備本身由一個基站、一個ashing室、一個氣源和兩個機櫃組成。基站包含控制氣體流動和利用所需的所有電子和加熱元件，以及設備的控制面板。灰化室是在蝕刻/灰化過程中放置基材的地方，氣源提供了用於加工的氣體。這兩個櫃子分別裝有氣源和灰燼.該裝置利用射頻和直流源的組合來蝕刻和灰分基板。在射頻蝕刻中，高頻源通過外部的低阻抗發生器進行控制，該發生器用於將射頻電流通過要蝕刻/灰化的物體。射頻蝕刻能夠通過多種金屬和介電材料進行蝕刻。另一方面，直流蝕刻用於蝕刻/灰分更細膩，放熱底物更少。它利用一個低頻源，這繞過電流通過基板以遠更受控的方式。HITACHI M-308還包括一些安全和診斷功能。其中包括過程中監控、性能讀數和緊急關閉系統,以確保用戶和產品的安全。它的溫度和沈積速率範圍是可調的，使使用者可以靈活地實現各種程度的蝕刻/灰化。此外，它的低成本和小尺寸使得它成為任何實驗室、生產或研究環境的理想選擇。