二手 HITACHI M 308 #9190914 待售

HITACHI M 308是為半導體工業中的應用而設計的蝕刻和asher設備。它可用於各種工藝的蝕刻和灰化，如接觸孔、條紋和通風孔。該系統專為高吞吐量而設計，能夠一次控制多達八個腔室。該單元配備了多種特性，使其適合各種工藝。它有一個高度靈敏的溫度控制機器，保證了精密蝕刻和灰化的穩定溫度。它還具有低電弧電工工具，可最大程度地減少有害火花和電弧損壞的風險。其高能離子束源確保在整個基板上均勻覆蓋和均勻蝕刻。離子束可以在能量和強度上進行調諧，從而可以精確控制蝕刻過程。此外，資產有氫氣凈化模型，防止顆粒粘附到晶圓表面，並盡量減少汙染。該設備具有先進的等離子體蝕刻技術，能夠通過提高分辨率提高蝕刻速率。腔室設計有四個晶圓碗，一次最多可處理四個晶圓。它還有兩個獨立的機械臂系統，允許晶片板的裝卸。系統中包含的安全特性使其適合在潔凈室環境中使用。該裝置配備了不尊重自我的計時器，在存在潛在爆炸性或危險性材料的環境中操作是安全的。該機器還有一個氣體分析儀工具，其設計用於檢測任何氣體泄漏的資產。總體而言，HITACHI M-308是一種高效可靠的蝕刻器和asher模型，適用於半導體行業的各種應用。設備精確度高，設計具有溫度控制系統、離子束源、氫氣凈化單元等先進特點，確保性能最佳。這一點，加上它的安全特性，使得它成為一個理想的機器在潔凈室環境中使用。