二手 HITACHI M 308 #9271719 待售
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ID: 9271719
Metal etcher
Transformer box
RF Generator
Remote console
SHIMADZU Power source
Microwave generator
Cooling pump
Stainless steel doors
Spare parts.
HITACHI M 308 蝕刻器/asher是一種高性能蝕刻和灰化設備,專門設計用於半導體器件的開發和生產。它配備了最新的自動化過程控制和監控系統,並且高度可靠和高效。該系統是一個完全集成的蝕刻和灰化單元,能夠處理範圍廣泛的基材,如矽片、砷化氙基材和其他基材。它能夠從單一平臺進行蝕刻和灰化操作,具有較高的吞吐量和優異的表面均勻性。該機配備了先進的精密設備,包括高精度的蝕刻和灰化室、氣體循環器/淋浴室以及基板晶片旋轉木馬工具。蝕刻室和循環器/淋浴室具有自動氣體供應(AGS)資產,它允許用戶以非常精確的方式控制氣體供應。蝕刻器/aser模型還具有一個復雜的基板跟蹤設備,該設備在蝕刻和灰化過程中自動檢查基板的狀態,並報告任何異常或錯誤。系統的溫度控制單元確保在整個過程中保持所需的蝕刻和灰度溫度,而氣體輸送機使用戶能夠選擇所需的真空水平,這可以用來控制蝕刻速率。該工具還配備了先進的圖像處理資產,可用於在蝕刻和灰化過程前後分析和評估基板。此功能允許用戶優化每種特定基材的蝕刻和灰化速率。HITACHI M-308是一種可靠、高效且高度自動化的模型,能夠處理各種基材。其自動化的過程控制和監控系統使其易於使用和高度可靠,而其先進的特性和靈活的基板處理設備使其成為半導體器件制造的理想選擇。
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