二手 HITACHI M 308AT #102525 待售

HITACHI M 308AT是一種蝕刻器/asher,對於制造現代集成電路設備時使用的物理蝕刻方法至關重要。這種裝置可以進行制造半導體器件所需的幹蝕刻工藝，以及在許多微機械應用中采用的各種蝕刻和灰化工藝。HITACHI M-308AT的主要目的是提供一個堅固、可編程的系統，能夠準確、一致地蝕刻和灰燼，以滿足現代微電子制造所需的嚴格規格和公差要求。該裝置具有多種蝕刻模式操作，允許用於金屬、矽、二氧化矽等多種材料。M 308 AT采用雙腔室設計，其中一個腔室包含樣品腔室，另一個用於蝕刻。樣品室包含保存樣品的掩模，蝕刻室向樣品室提供蝕刻氣體。真空用於在兩個腔室之間產生壓差，從而實現更有效的蝕刻。該裝置還包含一個內部控制器，負責控制壓力、流量、溫度、氣體流量和蝕刻時間等蝕刻參數。這使設備能夠編程為可重復、高精度的蝕刻。該設備還具有多項安全功能,以確保安全的操作環境。該設備能夠以0.1秒的最小蝕刻時間進行蝕刻，使其在制造過程中減少蝕刻時間，同時仍保持準確性和可重復性。此外,HITACHI M 308 AT具有5年保修,支持其高質量和可靠的操作。綜上所述，M-308AT是一種對現代集成電路器件制造中所采用的物理蝕刻方法至關重要的蝕刻器。它具有雙腔室設計、內部控制器以及多種蝕刻模式操作，使其成為多種材料蝕刻和灰化的通用裝置。該裝置還具有高品質、安全導向的設計和5年保修，使其成為蝕刻和灰化應用的可靠選擇。